逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氣體由分子泵出氣口逆著(zhù)泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的管內而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進(jìn)氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。

逆擴散原理

逆擴散方式檢漏允許被檢件內壓強較高，檢漏儀可達300Pa(一般常規檢漏儀為0.05Pa以下)，適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有氣管不易受污染，燈絲壽命長(cháng)等優(yōu)點(diǎn)。

1、吸槍法

被檢件充入高于大氣壓的探索氣體，檢漏儀的檢漏口連接稱(chēng)之為吸槍的氣體采集器。當試件有漏時(shí)，泄漏的氣體被吸槍吸入檢漏儀，而被檢測。吸槍在試件表面移動(dòng)，同時(shí)注視檢漏儀漏率指示的變化，一旦泄漏增加，吸槍所指位置即漏點(diǎn)所在。因此吸槍法也是能確定漏孔的檢漏方法。

2、鐘罩法——測總漏率

將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空，在被檢件外面罩以充滿(mǎn)氣體的容器，如被檢件有漏孔，氣體便由漏孔進(jìn)入被檢件，zui終達到氣管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個(gè)泄漏點(diǎn)和每個(gè)漏點(diǎn)的準確位置?？梢钥闯鲧娬址ㄊ腔趪姶捣ǖ囊环N檢漏方法。

3、背壓法——測總漏率

電子元器件進(jìn)行氣密性檢測時(shí)常用背壓法。檢漏前用專(zhuān)用加壓容器向被檢件壓入氣體(由壓力和時(shí)間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氣體放入專(zhuān)用檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實(shí)施檢漏。若器件有漏，則通過(guò)該漏孔壓人的氣體又釋放出來(lái)進(jìn)入檢漏罐。用這種方法測得的漏率也是總漏率。

4、輔助真空系統

對子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，檢漏儀的真空度可能抽不上去，使檢漏儀無(wú)法工作。此種情況須加接輔助真空系統，提高對被檢件的抽速。簡(jiǎn)單的輔助真空系統只需一個(gè)機械泵和兩個(gè)閥門(mén)，復雜的系統可由前級泵、次級泵、閥門(mén)、真空規及標準漏孔等組成。次級泵可用擴散系或羅茨泵，前級系zui好用氣鎮式機械泵。

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